近日,中國(guó)電子學(xué)會(huì)正式公布2024中國(guó)電子學(xué)會(huì)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)名單,由武漢飛恩微電子與武漢大學(xué)聯(lián)合申報(bào)的“微納電子器件制造工藝與裝備”,榮膺科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。
此次獲獎(jiǎng)的微納電子器件制造工藝與裝備,聚焦MEMS壓力傳感器領(lǐng)域,突破了基于混合大數(shù)據(jù)的在線監(jiān)測(cè)技術(shù)、基于深度神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的時(shí)序預(yù)測(cè)技術(shù)以及人工智能驅(qū)動(dòng)的反饋調(diào)控策略等核心技術(shù),解決了MEMS壓力傳感器大批量制造過(guò)程中復(fù)雜加工環(huán)境、多步工藝導(dǎo)致的成品良率難題。通過(guò)創(chuàng)新性地構(gòu)建"感知-預(yù)測(cè)-調(diào)控"一體化智能制造體系,實(shí)現(xiàn)了對(duì)貼片、固化、鍵合等關(guān)鍵工藝的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、精準(zhǔn)預(yù)測(cè)與動(dòng)態(tài)優(yōu)化,為汽車電子、智能制造等領(lǐng)域提供了高可靠性、低成本的大規(guī)模制造解決方案。
飛恩微電子將繼續(xù)深化產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新,以核心技術(shù)突破推動(dòng)產(chǎn)業(yè)升級(jí),為中國(guó)"智"造高質(zhì)量發(fā)展注入新動(dòng)能!