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FN-A1601系列車規(guī)級(jí)MEMS壓力芯片，包含兩個(gè)型號(hào)系列，表壓類型和背面絕壓類型。均采用SOI硅片為襯底，車規(guī)級(jí)半導(dǎo)體工藝制造。采用先進(jìn)的MEMS正面密封腔體，背部感壓技術(shù)，具有耐腐蝕性，寬溫度范圍（-40℃~150℃），低漏電流（＜10nA），高可靠性的特點(diǎn)，適合應(yīng)用于汽車尾氣壓差測(cè)量，發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣壓力測(cè)量，制動(dòng)氣壓測(cè)量及空調(diào)壓力測(cè)量等惡劣環(huán)境。